O funcionamento do relé de extinção de arco a vácuo baseia-se na utilização do vácuo como meio isolante para extinguir os arcos elétricos formados quando o circuito é aberto. Quando há uma falha elétrica e os contatos de um interruptor se separam, a corrente elétrica pode causar um arco entre os pontos de contato. Em dispositivos convencionais, o arco é apagado por ar comprimido ou óleo. No entanto, no caso do relé de extinção de arco a vácuo, a câmara de vácuo impede a ionização do ar, o que significa que o arco não consegue se sustentar e é rapidamente extinto.